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萊特萊德(沈阳)水处理公司
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罕王微電子矽晶圓清洗用超純水系統

來源:沈陽水處理公司作者:沈陽水處理工程師時間:2018-06-25

  

  項目背景:

  纵观世界,当智能手机、汽车电子、机器人与无人机等产业在一点一点悄然崛起时,MEMS也在走进人们的视野中。MEMS(全称Micro Electromechanical System),中文称微机电系统(以下简称微电子),是一种尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微电子主要分为传感MEMS技术、生物MEMS技术、MEMS光学扫描仪与射频MEMS技术四大类,目前我国在传感MEMS技术这一方面发展较为火热。MEMS作为一项革命性的新技术,其发展关系到我国科技的发展,产业前景不可估量。

  罕王微電子(遼甯)有限公司是一家以MEMS傳感器設計及制造生産爲核心的高科技中美合資企業。主營業務爲MEMS高端傳感器及其配套電子産品,萊特萊德爲其提供矽晶圓清洗用超純水系統。

  項目內容:

  提供硅晶圆清洗用超纯水系统,产水符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。

 

  項目介紹:

  項目工藝流程:原水-預處理-雙級反滲透-脫氣系統-EDI系統-脫氣系統-抛光混床-終端顆粒去除器

  MEMS芯片设计和制造中少不了硅晶圆的身影,根据硅晶圆所需清洗用水标准,萊特萊德为其提供美标电子超纯水定制工艺方案,其中,对于TOC(总有机碳)和DO溶解氧(溶解氧)等指标上要求极高。为此工艺中设置了脱气系统,是为脱去可溶性气体特别是二氧化碳(含量过多会导致pH值下降),这样才能保证产出的超纯水的纯度。超纯水系统中TOC(总有机碳)相对含量较高会影响器件性能,为此设置除TOC 装置。最后采用终端过滤系统,避免取用超纯水时受到二次污染,确保水质对颗粒物的高指标要求。

  對于此次項目萊特萊德采用BOT(建設-移交-運營)模式,前期預先繳付押金,後期每月繳付運營費用,爲期五年。五年中,一切運營維護都由萊特萊德承擔,客戶可以在前期較少投資的情況下就使用到美標1.2級超純水。五年期滿後,進行設備轉讓。BOT模式對于承建企業技術水平要求較高,擁有規模大、工程周期長、經營期限長等特點,這些也決定了工程建設的難度與風險。

 

萊特萊德EDI超純水設備

  工藝優勢:

  1、系統所用的超純水專用膜,采用膜表面高分子嫁接技術,不僅耐酸堿清洗、抗高汙染,還可以加快離子遷移速度,使産水TOC在20PPB以下;

  2、系統穩定自動化程度高,産水水質穩定。采用PLC智能化程序,用戶能靈活方便地進行操作;

  3、各項指標監測嚴格,國內只有極少數公司可達到美標超純水出水指標;

 

罕王微電子項目超純水系統整體

 

  隨著人們生活應用的不斷豐富,我國MEMS市場也在逐漸擴大,與此同時我國微電子行業面臨著技術上的挑戰。萊特萊德不仅在技术上坚持的不断完善与创新,在后期维护处理上也尽可能做到为用户考虑。未来萊特萊德将会多方涉及微电子行业,为我国的微电子行业增加助力!